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三氯硅烷

纯度:4N

包装规格:40L/47L/电阻率≥ 1000 ohm·cm

是一种无机化合物,化学式为SiHCl3。为无色液体,溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂,主要用于制造硅酮化合物。

多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。

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