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纯度:3N/4N5/5N
包装规格:12L/40L/47L
三氟甲烷,是一种有机化合物,常温常压下为无色气体,溶于水、乙醇、丙酮,主要用作低温致冷剂、灭火剂和制造四氟乙烯的原料。
主要用作低温致冷剂、灭火剂和制造四氟乙烯的原料。半导体工业中,三氟甲烷是使用在氧化硅或氮化硅层的等离子蚀刻。
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